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Microshield™掩蔽物

用于样品制备过程中的不错的“保护剂”和“掩蔽物”



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MicroshieldMicroshield
去除剂
危险标签说明

Microshield是用大多数化学方法制备样品过程中,掩蔽样品不需要抛光或变薄的区域的理想保护剂。这种方法非常适宜用于使用“窗口”方法弄薄样品。样品制备程序完成后,Microshield区域很容易用特别配制的SPI Microshield去除剂清除。同其它这种类型的产品一样,该产品易燃。

来自一些经验丰富的用户的集体意见:
Microshield用于显微镜时,最多是在用HF化学抛光时,被用来掩蔽硅。当然还有其它许多应用,但是掩蔽硅似乎是最主要的应用。Microshield似乎能很好地耐HF(以及~1%的Br HF溶液)。

一些经验丰富的用户建议将收到的Microshield用丙酮按1:1的比例稀释。这种形式的材料似乎比直接从瓶中出来的材料要容易使用得多。确保用于这种用途的丙酮达到ACS纯度或更好,因为丙酮中的任何残余物最终都将留在样品上。

我们听说的唯一可能的缺点是,用丙酮溶解时,有时似乎会有少量残余物留在样品上。我们相信使用这种特别的Microshield去除剂,将减少残余物,但我们并不100%确定。无论如何,我们推荐使用如上所示的这种特别的稀释剂。

传统智慧会让我们认为,所有残留问题都可以用等离子体清洁即刻解决,但“清洁”剂的低效对清除所有残留并不完全有效。我们建议在等离子蚀刻机中清除这种残余,如SPI Plasma Prep II等离子蚀刻机,使用O2或结合使用O2和Ar。

另一用于这种用途的产品是Crystalbond™ 509。同Microshield一样,Crystalbond 509必须溶于丙酮,并按类似的方法应用。然而,有些用户报告称Crystalbond 509不如使用Microshield方便,即使它似乎确实同样地耐HF。对那些在远处或国外工作的人来说,Crystalbond 509与Microshield相比,主要的优点便在于它不需要作为“危险品”运输。换句话说,Crystalbond 509运输成本要远低于Microshield。

其它有用信息:
全浓度的新鲜Microshield在5或10分钟即干燥成“硬”的。几小时后,变得更硬、更脆,但仍然紧紧粘附于清洁表面。可用丙酮稀释后用于薄涂层。特征依然相似,但干燥速度更快。丙酮和Microshield似乎能以任意比例与对方混合。

如前所示,Crystalbond 509也能溶于丙酮,涂于表面。 它也能稀释,以更细的线涂描。我们认为涂层硬度与Microshield类似。

注:关于使用Microshield的技术资料,我们非常感谢:材料科学部,电子显微镜中心,阿贡国家实验室的Jon M. HillerBernard Kestel,9700 S. Cass Avenue, Argonne, IL 60439 USA。

我们要强调的是,绝不是这两个研究者“认可”Microshield,他们都认为可能有其它相当的产品。但是我们认为重要的是能分享他们使用该产品的经验,而使其它跟随他们脚步的人们生活更简便。

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Thursday March 18, 2010
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