SPI 聚焦离子束(FIB)配件

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使用CMP Cient韋ica s.l.
FIB设备制备的TEM样本

FIB铣削设备其实就是一台扫描电镜(SEM)，只是用离子源取代电子源而已。当然，他们之间也有不同之处，例如：由于离子的铣削作用，使得光圈更易损耗。在FIB设备中，光圈不会因为被污染而需要更换，只会由于他们被铣削损耗而不得不更换。

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FIB铣削设备主要耗材:

光圈
双面导电碳胶－高真空环境使用
金刚石支撑环－离子铣用

FIB和离子铣用半形网格

铍
钼

观察显微镜
钼支撑环

有孔产品

氮化硅薄膜窗格

氧化硅薄膜窗格

双面导电银胶片－高真空环境使用
银粉漆
SEM载物台
槽孔栅格(Cu, Ni, Au)
槽孔栅格, 金刚石
镊子

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