旋叶泵前置油阱

使用前置油阱可以降低泵体产生的回流

---

英文版

西班牙语

所有旋叶（机械）泵在抽空扩散泵或其它一些设备（如：溅射镀膜机、等离子蚀刻机和等离子清洗器）时，会呈现出一定的油雾“回流”，进入抽空室的真空管道。即使真空泵是最好的，由于油雾回流的存在，抽空室可能有破裂的危险。当旋叶泵用于抽吸扩散泵时，此种回流油雾一旦与扩散泵液混合相反还会影响扩散泵的性能，因而降低了真空系统的最终性能。回流到溅射镀膜机的油雾还会从负面影响到镀覆在重要样品上的镀膜。此种油雾同样也会对等离子蚀刻机的性能产生负面影响。

因此，为了取得最好的实验结果，我们建议安装使用前置油阱。

还有不同种类的前置泵:
现有上述油阱，专为防止或一定程度上减小机械泵中的油雾回流。但还有另一种泵，专为将腐蚀性或其它危害性气体隔离在泵室外，以防止可能存在的损坏与腐蚀。此种泵目前价格相当昂贵，并且SPI Supplies还未有销售。

我们建议在将泵体与SPI 等离子清洁器、SPI ModuleT等离子镀膜机和SPI Plasma PrepT II等离子蚀刻机连接时，使用前置油阱。

	SPI #	单价		库存
Leybold RST16KF可再装填型前置油阱	10407FK-AB	$807.00		No

   

咨询与建议

订购或询价

• SPI Supplies 产品目录
• SPI Supplies 主页

© 版权所有 1999 - 2012.By Structure Probe, Inc.
联系SPI Supplies和Structure Probe, Inc.
所有权利均予保留。
网站中所涉及的所有商标和品名均属于各自所属公司财产。
隐私保护政策

全球经销商、代理商及代表机构