SPI Supplies^® 透射电镜（TEM)用多孔氧化硅薄膜窗格

此种无氮薄膜用于要求无氮的环境


2μm微孔、4μm中心距的扫描电镜（SEM）图像。请注意放大倍率提高后，平整的窗格略显不平。对某些工作，此种窗格非常适合。

介绍：
自2000年7月，SPI Supplies一直提供全套TEM和X射线显微镜领域的氮化硅窗格。一直以来很多用户希望我们不仅提供氧化硅薄膜网格（未穿孔），还提供多孔薄膜窗格（如：多孔网格或“多孔”薄膜）。由于薄膜穿孔精度要求很高，我们只能使用SPI Supplies电子显微镜光圈生产技术实现单个或多个穿孔要求。但是薄膜在穿孔过程中很容易破裂，因此穿孔成本很高且产量低。

我们也尝试过使用FIB（聚焦离子束）显微技术进行穿孔，但效果始终不佳，要么孔径过圆，要么微孔边缘有残留物，甚至两者都有。

现有二氧化硅薄膜：
此产品采用最新的MEMs技术和加工工艺，不仅大大降低了穿孔成本，而且可在4μm中心距上制作直径2μm的微孔阵列。但由于氧化硅薄膜本身存在压应力，其表面会有起皱现象，目前我们尚未解决此难题。为了尽可能减少薄膜表面起皱，我们在原始硅片上制作了薄膜“加固条”。因此，该产品实际上并不是一个完整的500μm窗格，而是由25个单独的窗格组成，单边尺寸75μm，中间有25μm宽的加固条。尽管我们已尽力防止起皱现象发生，但目前还未完全消除。上述照片中的产品并非我们的“最佳”产品，而是最差的。您所选购的任何氧化硅薄膜绝对不会比上述照片中的样本差。

孔域说明：
窗格上除加固条外的区域都打有微孔，微孔阵列覆盖整个薄膜。从量上看，25个分割区中均有16×16的微孔阵列，（2μm微孔，4μm中心距），每区孔数为256个，整个网格的总孔数为256 x 25＝6400个。网格边框可方便地安装到任何直径3.05mmTEM网格支架上。

我们可按客户要求对氧化硅薄膜上的孔径和孔密度进行定做，首张定制晶片的初始成本比较高。请告诉我们您的具体要求，我们将为您具体报价。

对实验的潜在影响：
在有纳米纤维微孔成核现象的实验中，相比那些仅有一两个很少微孔的薄膜，SPI的此种新型多孔薄膜将大大改观实验性质，因为薄膜上微孔数量大大增加。可想而知，使用这种新型TEM多孔二氧化硅薄膜窗格取得的数据会是以前的多少倍！

光学显微镜观察网格所展示的标定指数特征

标记网格：
我们在多孔二氧化硅薄膜窗格上还植入了一个标记系统，使得每一区都可实现重新定位，进行二次观测，如右图所示。每一区可以用其独有的标号进行描述。

薄膜平整度：
坦率地说，这些薄膜平整度一般，至少目前如此，氮化硅薄膜也是如此。以孔径级别看，薄膜还是比较平整的。本着“应用中进步”的理念，我们不断努力提高薄膜的平整度，推出更好的薄膜产品。需要声明的是，以下波浪图是最差的情况。在放大更大倍数（达到孔径级别）后，薄膜还是比较平整的。尽管如此，我们不想让用户做出不切实际的预计。请注意，我们总是挑选最差的情况来呈现薄膜的起皱现象。

使用前注意事项：
典型的TEM网格厚度在30-50μm之间，但此种薄膜窗格的厚度是200μm。对多数TEM用户来说，此厚度不会产生任何问题。但如果您初次使用，一定不要将支架调得过紧。如果您所用支架太紧的话，我们建议您联系TEM销售商，他们会指导您调节支架以适应此种较厚的网格。但如上所述，多数使用氮化硅网格的用户都反映使用这种较厚网格没有任何问题。

即将推出的产品:
目前我们正在考虑推出其他孔径和孔密度的标准网格产品。我们可制做更小的微孔，但因采用特殊的打孔技术－机械钻孔，所以制做成本昂贵。如果您对机械钻孔感兴趣，请注意薄膜越薄，成本就越低。在厚30nm的薄膜上钻一微孔，其成本约为在厚60nm的薄膜钻一微孔的一半。

现有产品：
我们现库存有氧化硅薄膜产品，一经订购即可立即发货。但因库存量取决于产品销售情况，我们不能保证将来随时有现货供应。

多孔薄膜窗格的规格：
边框厚度：200μm
薄膜尺寸：0.5 x 0.5 mm (500x500μm)
薄膜厚度：50 nm
孔径：2μm 孔中心距：4μm
孔数：6400

其他需要氮化硅窗格的消费者如何定购:
真正的薄膜窗格消费者会定购镊子 (以便安全夹取窗格)。并且附加定购窗格存储箱，以便存放制备好的窗格。

包装：10片/包，用SPI Twist-A-Grid™ 或BEEM^® 网格储盒装运。

TEM用多孔氧化硅薄膜窗格：
现有库存可立即发货。

	SPI #	10片/包		库存
	4089PSO-BA	$ 546.21		Yes

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