SPI MODULE™ 溅射/碳涂膜机

身边常备置换备件，以应不时之需！

英文版

该页列出的备件用于SPI Module溅射/碳涂膜系列产品。在1975至1983年所售的"最初的SPI溅射涂膜"产品，也有备件可提供。

众所周知，最经常需要置换的备件是"o"型环。本页中列有大量不同 "o"型环。请参考关于不同"o"型环的更多信息及其应用。

	SPI #	单价	库存
置换Pyrex^®	11446-AB	$171.22	Yes
室，5"(12.7cm)高x4"(10.2cm) 外围直径。

用于SPI-Module涂膜机室的两个"o"型环组	11458-AB	13.83	Yes

置换针阀	11425N-AB	105.44	Yes
有时候是由于针阀过紧，有时候只是正常使用也会需要置换。

用于SPI-Module真空控制基产品的三个"o"型环组	11460-AB	23.06	Yes

真空软管长5'(152 cm)	11005H-AB	41.95	No
高质量真空软管，用于连接基本模块到真空泵；这段距离越短越好！
	SPI #	单价
用于SPI-Module溅射涂膜机的置换溅射头	11430H-AB	$907.90	Yes

用于SPI溅射涂机模块的置换电缆	11430C-AB	133.16	Yes

用于SPI-Module溅射头的三个"o"型环组	11459-AB	17.28	Yes

置换阴极
	SPI #	单价
黄金(100%)阴极	14155-AB	$1034.77	No
60% 黄金/40%钯阴极	14156-AB	981.75	Yes
铂(100%)阴极	14157-AB	3096.56	Yes
钯(100%)阴极	14151-AB	656.04	Yes
银(100%)阴极	14152-AB	376.75	Yes
铱(100%)阴极	14167-AB	3035.11	Yes

用于SPI Module溅射系统的碳模块
	SPI #	单价
置换炭棒头	11439-AB	$807.03	Yes
置换炭纤头	11428F-AB	556.86	Yes
用于SPI碳涂机模块的置换电缆	11428C-AB	278.25	Yes

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