SPI Supplies^®透射电镜（TEM）用氮化硅薄膜窗格

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此外，我们可以提供此类薄膜窗产品的电阻数据。通常用“薄膜面”作正面承载样品，背面有“蚀刻坑”，但也有使用背面的特殊情况。

客户对象：

SPI氮化硅薄膜窗可应用于多种情况，有时甚至能将不可能变成可能：

• 惰性衬底，用于透射电镜（TEM）、扫描电镜（SEM）和原子力显微镜（AFM），能在高温下清晰地观察反应现场。
• 耐用衬底，先通过透射电镜（TEM）观察，再通过扫描电镜（SEM）对同一区域进行配对检验。
• 耐用衬底，用于原子力显微镜（AFM）和透射电镜（TEM）图像配对检验。
• 用于SEM和BSE湿细胞成像和TEM成像

• 应用于扫描电镜（SEM），衬底无定形、无特性。
• 应用于X射线显微镜，某些样品分析的唯一方法。
• 应用于SEM和BSE成像，“细胞”直接形成在窗格上，从而形成完美的UHV环境舱。

部件与衬底相接的深凹槽晶界，400°C。 从左上角到右下角的长亮条为 无定形氮化硅薄膜，镀层就沉积其上 （在两个大的中心晶粒之间）

615°C下，无水固态衬底薄膜。 两张显微图片都出自刊物， 晶体异常增大的TEM观测及 纳米银晶体膜中衬底除湿。.

我们相信，我们产品的平整度对大多数用户来说是相当好的。有时客户会问及网格线框面的粗糙度，我们认为两面的平整度是一样的。由于不能将SPM探针伸入到线框内，我们无法测量出线框面的平整度。但是，既然我们确信薄膜平整度和粗糙度与其下硅片相同，那么线框面的平整度不会比其反面差。有位客户私下里与我们交流，他最近通过AFM对薄膜的两面进行了测量。他告诉我们，线框面在粗糙度方面还可以，建议采用粗磨法加工线框面的反面。


窗格尺寸：
“标准”窗格尺寸为0.5mm²。由于大窗格薄膜的耐用性不如小窗格薄膜，我们建议不要超标使用。目前我们所生产窗格最大为1mm²。

由于以下两点因素，我们建议在TEM中不要使用更大的薄膜:
首先，也是最重要的一点是，窗格边框很小在从晶片上切割下来时极易造成其破裂。其次，由于边框很小，在保证窗格完好无损的情况下很难用镊子夹取。我们可以制造更大的窗格，但不用于TEM使用。

超薄薄膜窗:
我们能够制造20nm的窗格，这标志着薄膜窗格制造技术上了一个新台阶。虽然是计量式薄膜窗而非低应力的，但其本身应力却不高。你可以看到20nm是非常薄的，以至于人们都不敢相信可以在这么薄的窗格上进行旋转镀膜和各种处理工艺而不会将其损坏。其完全可以用作TEM网格，并且窗格尺寸越小耐用性越好。我们不敢保证20nm的窗格会完全没有砂眼，但这对用于TEM来说是完全没有影响的。

新增产品:
应部分用户的要求，我们开发了一条平行生产线，用于生产SiO₂薄膜窗格。目前，库存有此种新型系列产品中最初型号的氧化硅薄膜产品，可随时发货。多孔氧化硅薄膜窗格也有库存产品。

与氮化硅产品相比，氧化硅薄膜窗格在某些方面的稳定耐久性更差一些。例如，氧化物中或多或少存在压应力，因此平整性欠佳。从化学角度看，氮化物几乎不与任何物质反应（除游离氟原子外），但是氧化物可与相当多的化学物质发生反应。

常规钨源SEM下，细胞粘附在薄膜上的成像。 能够非常清晰的观察细胞的运动。 显微图片的宽度为30μm。

湿细胞套装
SPI Supplies氮化硅薄膜窗格能够创造一个独特的环境舱或称“湿细胞”，即对细胞或湿样品进行BSE成像，迄今为止很难达到的效果。

使用前的擦洗：
氮化硅薄膜在使用前无须擦洗。窗格外角上偶尔会有小块氮化物（为边框导角），这是不可避免的。这不会对用户造成任何影响。

如果您需要对之清洗，我们建议清除有机物使用H2SO4:H2O2(1:1)，清除金属使用H2O:HCl:H2O2(5:3:3)。薄膜不能用超声波清洗，否则会导致窗格碎裂。

薄膜表面镀膜：
通常的镀膜方式都可应用于薄膜。但有时因为他们也是普通表面，也会存在粘附性问题。采用真空蒸发镀膜、溅射镀膜或旋转镀膜，则不会存在任何问题。在镀金时，通常先镀一层铬以增强粘附性。

多孔薄膜
采用微加工技术，我们首次制成了多孔薄膜。多孔薄膜窗格可用于沉积纳米纤维和其它样品，所获数据不会有载体的影响。多孔薄膜比普通薄膜贵2－3倍，主要取决于孔数。

所有SPI氮化硅薄膜窗格都是用SPI Slide-A-Grid 储盒进行装运的。

旋转镀膜薄膜窗格：
此种薄膜窗格的薄膜面必须旋转镀膜，可以使用SPI Supplies KW－4A型台式旋转镀膜机。我们有“多膜系统”用于此镀膜机，进行多膜同时镀膜，每张膜在需要进一步处理或使用时被送出。

框架厚度（如硅载体）：
硅载体由硅晶片制成，标准厚度为200μm。如有特殊要求，也可制成厚度381μm的，但价格稍高。此外，我们已开始生产厚度20nm的窗格。由于技术原因，所使用的氮化物是计量式的（ST）而非低应力的(LS)。我们也生产用于新型TEM的100μm薄窗格及用于新型HRTEM的50μm超薄窗格。

氮化物薄膜的折射率(RI):
我们希望能够达到大约2.15的折射率，但不敢保证肯定能够达到。对大多数应用来说，折射率没有多大的意义。如果您需要严格控制折射率，我们当然可以尽力而为。但是产品的价格会稍高一些，并且最小订购量也有所增加。

现售氮化硅镀膜晶片:
我们现在也可以为客户提供SPI Supplies薄膜窗产品生产线用氮化硅镀膜晶片。


薄膜10张/盒，一次定购10盒以上价格优惠（总量100张，型号不限）。我们也可为客户订制特殊窗格。

硅

Silicon [CAS #7440-21-3] 窗框厚200μm (窗格尺寸：0.5mm): 十片装
薄膜窗格厚度	SPI #	单价	10+，优惠价		库存
500 nm	4109SN-BA	$149.73	$134.76		Yes
200 nm	4120SN-BA	149.73	134.76		Yes
150 nm	4121SN-BA	149.73	134.76		Yes
100 nm	4122SN-BA	149.73	134.76		Yes
75 nm	4123SN-BA	186.87	168.18		Yes
50 nm	4124SN-BA	224.38	201.94		Yes
30 nm	4125SN-BA	299.19	269.27		Yes
20 nm	4159SN-BA	449.81	404.83		No
窗框厚200μm(窗格尺寸：1.0mm): 十片装
150 nm	4161SN-BA	149.73	674.69		Yes
100 nm	4112SN-BA	149.73	134.76		Yes
50 nm	4135SN-BA	200.14	180.13		No
30 nm	4162SN-BA	317.10	317.10		No
窗框厚100μm(窗格尺寸：0.5mm): 十片装
100 nm	4131SN-BA	190.24	171.22		Yes
50 nm	4132SN-BA	285.37	256.83		Yes
30 nm	4192SN-BA	415.25			Yes
窗框厚50μm(窗格尺寸：0.5mm):超薄 一百片装
100 nm	4160SN-MB	2516.42	2264.78		No
窗框厚200μm(窗格尺寸：0.25mm): 十片装［5盒起购］
薄膜窗格厚度	SPI #	单价	10+，优惠价		库存
500 nm	4098SN-BA	$149.73	$134.76		Yes
200 nm	4099SN-BA	149.73	134.76		Yes
150 nm	4100SN-BA	149.73	134.76		Yes
100 nm	4101SN-BA	149.73	134.76		Yes
75 nm	4102SN-BA	224.60	202.14		Yes
50 nm	4103SN-BA	224.60	202.14		Yes
30 nm	4104SN-BA	299.49	269.54		Yes
20 nm	4105SN-BA	449.81	404.83		Yes
窗框厚200μm(窗格尺寸：0.10mm): 十片装［5盒起购］
薄膜窗格厚度	SPI #	单价	10+，优惠价		库存
500 nm	4091SN-BA	$149.73	$134.76		Yes
200 nm	4092SN-BA	149.73	134.76		Yes
150 nm	4093SN-BA	149.73	134.76		Yes
100 nm	4094SN-BA	149.73	134.76		Yes
75 nm	4095SN-BA	237.78	214.00		Yes
50 nm	4096SN-BA	237.78	214.00		Yes
30 nm	4097SN-BA	317.10	285.39		Yes
20 nm	4107SN-BA	317.10	285.39		Yes

窗框厚200μm(窗格尺寸：0.05mm/50μm): 十片装
薄膜窗格厚度	SPI #	单价	10+，优惠价		库存
30 nm	4090SN-BA	$317.10	$285.39		Yes
20 nm	4163SN-BA	317.10	317.10		Yes
100 nm	4088SN-BA	317.10	285.39		Yes

注：每盒十张薄膜窗格。