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除真空泵(建议使用Gast公司的产品)外,用户还需选择一个或多个真空“卡盘”对基片进行固定,另外还需一个分液器。因此,订购一个合适的卡盘相当重要。我们建议用户选用尺寸比最大基片稍小的卡盘,其表面不能外露,否则镀膜液会被吸入真空系统影响正常工作。如果用户有多种尺寸的样本,最好配备不同的卡盘。使用KW-4A型旋转镀膜机的用户还需一个分液器(见页底)。KW-4A型分液器可用液体为,25°C下粘度在0.600cP(苯)至10,000(蜜)区间的。
关于推荐泵的评述:
我们推荐Gast公司生产的特殊泵,主要因为其在此种特殊应用场合稳定性非常高,并且价格不高。当然,您肯定能买得起价格更高的真空泵。但就泵的性能来说,没有一个能比得上我们所推荐的泵。
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