SPI Module ™ 溅射/碳镀膜机

自1977年以来，SPI-Supplier就提供优质镀膜机，并且现在仍然为前期的产品提供优质服务！

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应用于扫描电子显微镜（SEM)样品镀膜的溅射/碳镀膜机与普通电源/真空控制基座组成一个有机的整体，这不正是您需要的吗？

SPI-模块化的溅射/碳镀膜机！

溅射镀膜机和碳镀膜机合二为一，提高了整机的性价比！
整个系统成本大大降低。
操作便利的长形工作台有效地节省了空间。
方便地升级到更高的性能。
贵金属低温溅射镀膜——提高的阴极设计。
快速镀膜（20秒内，金达到200A）——对敏感样品无热损耗。
样品室：高5"(12.7cm) x 外径4"(10.2cm)。
各种形状、尺寸的样品都能均匀镀膜，无需膜厚测控仪。
安全联动装置——确保真空时才具有高电压。
连续可动的样品台——轻易地调节样品和阴极间的距离。
经济的运作——金属低消耗。
高机动性——紧凑的设计使之能方便地易地移动。
指状排气真空控制——高质量的针阀。
背面设计的惰性气体进出口。
标准的水冷样品台。
快速设置的阴极装置——最大的产量和最短的样品转换时间。
一年保质期。

碳镀膜——碳棒和碳纤维：
由于碳纤维镀膜对碳棒镀膜的优势，SPI Module碳镀膜机使用碳纤维头作为标准镀膜材料。
SPI Supplies会及时通知你最新的用于扫描电子显微镜（SEM）分析和能谱仪（EDS）分析的高品质、可重复镀膜信息。如果你有场发射扫描电子显微镜（FESEM），或者你正在为一些本身不易镀膜的样品镀膜，例如，聚四氟乙烯（PTFE）表面，涂覆润滑剂的表面等，这时你应该考虑使用锇镀膜的锇等离子镀膜机（OPC）。

价廉物美的SPI-模块

选项 #1

碳镀膜

碳镀膜机体系

包括：

真空控制基座
碳镀膜机模块（可选碳棒头）

可选的：
碳棒头

	SPI #	价格	库存
(110 V)	11427-AB	$6658.61	Yes
(220 V)	11427-AX	6658.61	Yes

...外接泵
真空基座，碳镀膜机模块，另加2.1立方英尺/分钟的外接泵，Leybold Vacuum Product Inc.生产的D2.5E泵。如果安装在室内未进行气体外排，我们建议购买油雾滤清器。为了达到最佳性能，建议还要购买前级阱。

	SPI #	价格	库存
(110 V)	11429-AB	$8545.43	No
(220 V)	11429-AX	8545.43	No

其它体系结构和推荐耗材
应用于碳镀膜的高纯度粗碳纤维
推荐备件

选项 #2

贵金属镀膜
(例如：金镀膜)

溅射镀膜机体系

包括：

真空控制基座
溅射镀膜机模块

	SPI #	价格	库存
(110 V)	12151-AB	$6880.89	Yes
(220 V)	12151-AX	6880.89	Yes
仅蚀刻模式（不含泵）
(110 V)	12151E-AB	$8227.48	Yes
(220 V)	12151E-AX	8227.48	Yes
仅石英晶体膜厚测控仪（不含泵）
(110v/60 Hz)	12151Q-AB	$9823.44	Yes
(220v/50 Hz)	12151Q-AX	9823.44	Yes
蚀刻模式和石英晶体膜厚测控仪（不含泵）
(110v/60 Hz)	12151EQ-AB	$11163.83	Yes
(220v/50 Hz)	12151EQ-AX	11163.83	Yes

...外接泵
真空基座，溅射镀膜机模块，另加2.1立方英尺/分钟的外接泵，Leybold Vacuum Product Inc.生产的 D2.5E泵。如果安装在室内未进行气体外排，我们建议购买油雾滤清器。为了达到最佳性能，建议还要购买前级阱。

	SPI #	价格	库存
(110 V)	12150-AB	$8696.96	No
(220 V)	12150-AX	8696.96	No
仅蚀刻模式
(110 V)	12150E-AB	$10043.54	No
(220 V)	12150E-AX	10043.54	No
石英晶体膜厚测控仪（无蚀刻模式）
(110 V)	12150Q-AB	$11639.53	No
(220 V)	12150Q-AX	11639.53	No
蚀刻模式和石英晶体膜厚测控仪
(110 V)	12150EQ-AB	$12979.88	No
(220 V)	12150EQ-AX	12979.88	No

其它体系结构和推荐耗材
阴极制备
推荐备件

选项 #3

“组合”镀膜

组合型溅射/碳镀膜机体系

“组合型”包括：

真空控制基座
碳镀膜机模块
溅射镀膜机模块（可选碳棒头）

	SPI #	价格	库存
(110 V)	12155-AB	$9163.38	Yes
(220 V)	12155-AX	9163.38	Yes
蚀刻模式
(110 V)	12155E-AB	$10380.19	Yes
(220 V)	12155E-AX	10380.19	Yes
石英晶体膜厚测控仪（无蚀刻模式）
(110 V)	12155Q-AB	$12095.11	Yes
(220 V)	12155Q-AX	12095.11	Yes
蚀刻模式和石英晶体膜厚测控仪
(110 V)	12155EQ-AB	$13446.31	Yes
(220 V)	12155EQ-AX	13446.31	Yes

...外接泵
这套“组合”包括真空控制基座，碳镀膜机模块，溅射镀膜机模块和2.1立方英尺/分钟的外接泵，Leybold Vacuum Product Inc.生产的D2.5E泵。如果安装在室内未进行气体外排，我们建议购买油雾滤清器。为了达到最佳性能，建议还要购买前级阱。

	SPI #	价格	库存
(110 V)	12157-AB	$10947.53	No
(220 V)	12157-AX	10947.53	No
蚀刻模式
(110 V)	12157E-AB	$12294.11	No
(220 V)	12157E-AX	12294.11	No
石英晶体膜厚测控仪（无蚀刻模式）
(110 V)	12157Q-AB	$13883.85	No
(220 V)	12157Q-AX	13883.85	Yes
蚀刻模式和石英晶体膜厚测控仪
(110 V)	12157EQ-AB	$15230.45	No
(220 V)	12157EQ-AX	15230.45	No

其它体系结构和推荐耗材
阴极制备
蒸发碳纤维
推荐备件

遍及全球的终端用户为什么选择镀膜机呢？为什么为了一台镀膜机花费如此大的代价呢？而这样的镀膜机除了价格越来越高外，做的是相同的事情。确保你订购的就是你需要的，不需要的切勿订购！记住SPI提示：

a）科研工作者很少需要溅射蚀刻。假如是碳污染的话，任何溅射蚀刻体系都不能有效地清除它，因为毕竟溅射蚀刻不能溅射碳质材料！假如你必须要清除有机物的话，你需要的是一台SPI Plasma Prep II等离子蚀刻机。

b）在某些实验室，虽然石英晶体膜厚测控仪使用效果明显，但是对大多数想得到相同膜厚的样品来说，使用SPI“测试模式”比使用石英晶体膜厚测控仪更有效，并且这种模式绝对作用于样品内表面上，例如：硅、金属等。只要样品不吸湿，这种方式能够满足你的要求，因此，我们建议你节省开支，物尽其用。如果你需要石英晶体膜厚测控仪，请确保掌握石英晶体膜厚测控仪的工作原理。

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