SPI-Module 真空控制器模块
所有模块及配件操作的基础“平台”
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溅射与碳镀膜的基础平台。该产品呈扁平状,可控制溅射镀膜机或碳镀膜机模块,也可同时控制!(真空控制器本身并无其他功能。)
与其他产品不同,该产品虽很少需要冷却,但仍配有水管以防不时之需;前端面板上装有微控制针型阀;后端有低压气体进口;0.001真空表域 (皮拉尼压力计);后端还配有真空泵接口。可选配石英晶体厚度监视器。
SPI-Module真空控制单元的主要特点:
0-0.1大气真空计;
氩气及其他气体精密放泄阀;
1/4"厚防内爆 Pyrex
®
腔;
4"H x 18-3/4"W x 12-3/8"D.
真空控制模块单元
SPI #
价格
库存
11425-AB
(110V)
$4056.75
Yes
11425-AX
(220V)
4056.75
Yes
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Thursday March 18, 2010
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