放大倍率基准件 - MRS-3, MRS-3XY, MRS-3XYZ

专为ISO 9000及ISO Guide 25等国际认证体系设计

产品描述
该产品为ISO-9000认证程序设计，用于放大倍率的校准，具有新颖、实用的特点。该标准件适用于光学显微镜（透射或垂直光源）、共焦显微镜、扫描电镜（后向散射或二次电子）和透射电镜（用整体托架的二次电子成像）。此种符合美国国家标准规范（NIST）的测微器可对放大倍率在10X至50,000X之间的水平和垂直轴进行校准。此外，该标准件还用于粒径校准和分辨率测试。

技术规格
尺寸：约 9 X 9 X 2.0 mm
结构：熔融石英底座，带有ITO镀膜（用透光、导电（100nm）、无反射的铬（100nm）制成）。配有夹持器，便于操作并能保护MRS-3。请说明您显微镜的结构和型号。最常用的夹持器（SEM/R）外径1"、厚1/8"，中心有透光孔。

为便于操作和保护MRS-3，建议使用夹持器。请说明您显微镜的结构和型号。最常用的夹持器（SEM/R）外径1"、厚 1/8"，中心有透光孔。该产品专为可使用一英寸金相载物台的扫描电镜平台设计。

Z轴校准:
垂直方向步长为100nm。z轴校准虽然对光学显微镜和扫描电镜没有用，但对共焦和任何表面光度仪却非常有用。

产品分类:
MRS-3有三种不同类型:
SPI# 02766-AB：未进行任何校准、鉴定的基本产品；
SPI# 02767-AB：X和Y轴上进行过完整的校准、鉴定（但Z轴没有）；

SPI# 02768-AB：X、Y、Z轴上都进行过完整的校准、鉴定。

使用范围:
MRS-3可对10X至50,000X之间的放大倍率进行校准。其X和Y轴的最大尺寸为8.000 +/- .00025 mm，最小尺寸为2µm (1µm 线宽 + 1µm 间隙)。下面三幅图像是扫描电镜在后向散射模式下拍摄的，它们仅是MRS-3拍摄图像的一小部分。

2µm 间距图- 1µm 线宽 + 1µm 间隙, +/- 0.1µm

圆形, 4 组, 2µm - 100µm.

50µm 间距图- 25µm 线宽 + 5µm 间隙

为了便于操作和保护仪器，建议在购买MRS-3放大倍率基准件时，一并购买夹持器。

适用于SEM:
三种可选放大倍率基准件：
	SPI #	单价	库存
MRS-3 不可追溯，无夹持器	02766-AB	$ 539.00	No
MRS-3XY X、Y轴上校准，无夹持器	02767-AB	1650.00	No
MRS-3XYZ X、Y、Z轴上校准，无夹持器	02768-AB	1980.00	No
选配件:
夹持器 - 建议购买	02769-AB	110.00	No
复校及清洁: X、Y轴	02767R-AB	1100.00	No
复校及清洁: X、Y、Z轴	02768R-AB	1451.52	No

适用于STEM:
三种可选放大倍率基准件： (仅限于扫描方式，不能应用与传输方式)
	SPI #	单价	库存
MRS-3 (3mm) 不可追溯，无夹持器	02760-AB	713.95	No
MRS-3XY (3mm) X、Y轴上校准，无夹持器	02761-AB	1815.00	No
MRS-3XYZ (3mm) X、Y、Z轴上校准，无夹持器	02762-AB	2145.00	No
选配件:
夹持器 - 建议购买	02772-AB	192.50	No
复校及清洁: X、Y轴	02761R-AB	1265.00	No
复校及清洁: X、Y、Z轴	02762R-AB	1617.55	No

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适用于SEM:

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