MRS-4的几何图案是数组嵌套的正方形，线距从½μm, 1μm, 2μm, 50μm到500µm横跨几个数量级。新增标准件是一个6mm长（最小刻度1μm）的标尺。我们用中心距或边距来测量鉴定平行线距。这是唯一能关联不同显微测量技术的测量方法（参见"Submicrometer Linewidth Metrology in Optical Microscopy", Nyysonen & Larrabee, Journal of the Research of the National Bureau of Standards, Vol. 92, No. 3, 1987)。只有当校正仪器使用同一类型光源时，线宽测量（测量单线或间距宽度）才可相互关联，因为边缘效应会导致边缘位置的不确定性。运用线距测量，只要对同样位置进行测量，边缘位置的误差可以相互抵消。本指南通过插图的方式提供了几个例子。 方框是用于同时测量X和Y方向上的放大倍率。这使得我们能够对各种倾斜状、滚桶状、枕形等非线性图形进行测量，比如杂散磁场。使用MRS-4,我们可以提供½,1及2μm线距的方框。 最大的图案是边长8mm的正方形，由250μm宽的线条及空隙组成（线距共计500μm）。可用于校准10X至100X的放大倍率，而倍率在100X至1000X时可使用50μm线距的图案。2，1和½μm线距的图案可用于校准高达200，000X的倍率。“标尺”在X和Y轴方向上的总长度是6mm。增量1μm时每10μm制有图形，每50μm和100μm制有着重线和图。 增量1μm，5μm，10μm时，所含正方形和矩形的尺寸分别为1-31μm，30-75μm，70-120μm。增量2μm，10μm时，还分别包含一个直径2－39μm，40－100μm的4重圆环阵列。这些图案可用于检查粒度计算系统的性能和设置。根据我们的经验，要获得准确的粒度分布非常难。这些图案还可用于确定成像，化学空间分辨率及化学映射。由于圆和矩形并非线距结构，所以他们无法做成可追溯性的。 线距图案的精确度 图案精确度现由英国国家物理实验室确定。根据以前的MRS测量法，500μm线距图案的精确度为±0.25μm，50μm和2μm的为±0.02μm。 Z轴校准: 垂直方向步长为100nm。Z轴校准虽然对光学显微镜和扫描电镜没有意义，但对共焦和任何类型的表面光度仪却非常有用。 产品分类: MRS-4NT有三种类型产品： SPI#02775-AB，未进行任何校准、鉴定，无可追溯性（NT=不可追溯）的基本型； SPI#02776-AB，X、Y轴上进行过完整的校准、鉴定（但Z轴却没有）；
SPI#02777-AB，X、Y、Z轴上都进行过完整的校准、鉴定。 鉴定报告内容 我们严格按照ISO要求进行鉴定，如下：标件上刻有唯一的序列号，鉴定日期，有效期，鉴定员，使用仪器，图案测量与精确度测量。客户对此满意度为100%。
咨询与建议
订购或询价
咨询与建议
