Geller溯源微分尺™

源于Geller显微分析实验室

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溯源尺的市场需求
根据国际标准化组织（ISO）的规定，当产品尺寸存在一定不确定度时，必须采取溯源测量法，使用溯源式量尺和千分尺。为了使放大倍率具有溯源性，像和物体应使用溯源式校准仪器进行测量。

E1951-98 标线和光学显微镜放大倍率校准标件使用指南
本指南所提到的方法用于计算和校准光学显微镜放大倍率、图像放大倍率和监视器放大倍率、粒度对照标线和其他测量标线。折光显微镜主要用于表征材料的显微结构，许多材料工程方面的研究结果都建立在微观结构的定性定量分析基础之上。因此显微镜的放大倍率和标线尺寸的准确性是十分重要的。并不是每个人都需要“已鉴定标尺”，可用较便宜的PEAK™ 玻璃标尺替代。

采用该方法校准能达到与测量仪器一样高的精度。建议使用符合美国国家标准与技术研究院（NIST）或其它类似组织规定的溯源性千分尺或比例尺进行校准。

介绍
溯源性标尺要求符合ISO、QS-9000和ISO-17025质量体系认证。Geller显微分析实验室推荐使用MR-1型微分尺，该产品是继MRS-3和MRS-4型放大倍率基准件之后的又一款公制度量产品。它们可提供最小½µm间距的图案，达到200,000X放大倍率。该产品的一项重要应用在于通过测量放大的图像，得出其绝对放大倍率。该产品是通过鉴定的参考件（具有溯源性），建议每五年复检一次。

图案设计
MR-1型微分尺用高精度半导体制造设备制成。通过在钠钙玻璃上加镀抗反射铬层（70nm铬上镀覆30nmCrO₂）形成图案。总尺寸为25mm X 180mm X 3mm厚，线性膨胀系数为9 X 10^-6 PPM/°C。当总长度超过150mm时，标尺的长度将以1.35µm/°C的比率改变。

MR-1型微分尺以mm为单位，总刻度超过150mm，最小刻度0.01mm。标尺设计成可以从任何一侧读取数字，因为尺上有镜像刻度，便于读数。这使得尺子刻度与被测量物体能够直接接触，从而避免视觉误差。尺子位置不影响测量数值的准确读取。有一种通用型尺能够读取最小刻度（0.01mm）。

我们通过中心到中心或边缘到边缘的间距来测量确定线间距（平行线间距离）。这是唯一一种能将不同显微技术测量方法相关联的手段（参见"Submicrometer Linewidth Metrology in Optical Microscopy", Nyysonen & Larrabee, Journal of the Research of the National Bureau of Standards, Vol. 92, No. 3, 1987）。只有在校准仪器中使用相同类型的光源，线宽（单线宽度或线间距）测量才可关联起来。因为边缘效应会导致边缘部分的不确定性。测量间距时，只要测量相似位置，边缘区域的误差就能消除。

测量不确定度 MR-1型微分尺在0-10mm范围内的不确定度是± 0.5µm，在全长150mm范围的不确定度是± 2.5µm，由英国国家物理实验室（NIST在英国的合作伙伴）测量得出。室内测量时不确定度比上述数值稍小。

鉴定报告内容
最近，我们考虑将微分尺加入我们的ISO-17025体系中。已发布的报告遵循了ISO-17025 对认证和溯源的指导方针。内容包括：标件上刻有唯一的序列号，鉴定日期，有效期（建议为5年），鉴定员，使用仪器，图案测量与总不确定度测量。客户对此满意度为100％。

	SPI #	单价	库存
Geller 微分尺MR-1	02764-AB	$ 1320.00	No
复校	02764R-AB	660.00	No

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