SPM Calibrator™ 图像精确度标准

使用这种出色的校准附件来增强对你所得结果质量的信心！

使用SPM校正仪—新的图像精确标准件来提升所有扫描探针显微镜（SPM）设备的精确度。这项产品享有美国专利 #5, 644, 512 和 #5, 825, 670 。

SPM 校正仪是什么?
SPM设备的校准是费时费力的，甚至是忙碌的质量实验室也不得不花费时间进行正确的，耗时的校准工作。这种现象一直延续到SPM 校正仪的发明。

SPM校正仪的发明是对这一问题的解决方案！那些繁忙的SPM实验室现在可以进行准确的尺寸测量，处理快速并且花费低廉。测量质量能得到保证，特别是在临界尺寸测量方面，校正可以不费事不费钱地进行。

它是如何工作的：
SPM校正仪是校准扫描探针显微镜的新型系统。它能帮SPM用户提高临界尺寸测量的精确度。它使得对SPM的质量控制（QC）检验可以毫不费事地进行。一般的SPM扫描精确至5％，这就很难判断装置尺寸是否符合一定的规范。如果产品公差要求严格，为了补偿粗测公差，花费很大。

SPM校正仪由参考标准和数据分析软件组成。结果证明了该设备的精确性。每个SPM的用户都从这种能够很好记录校准工作的方便中获益。根据SPM校正仪结果的引导，你可以提高现有的SPM的精确度。下面是一般的和改良过的扫描的对比显示。

一般扫描的失真百分比

改良扫描的失真百分比

先要理解“失真百分比”的概念：它是由SPM校正仪提供的几对连续直线的倾斜度变化值。一般图像是对于300nm标准的10µm扫描，使用的是一般的原子力显微镜（AFM）校准设置。改良的图像则是根据SPM校正仪的结果对校准设置进行最优化的结果。

一般(顶部)和改良的图像(底部)

产品的进一步描述：

这个产品有两个部分，一是自身的校准样品，另外是数据分析软件。每一项都会被独立记录，因为从某种意义上说，它们之间是相互独立的。

校准样品和软件的总体好处：

对你的SPM可进行简便的QC测试
提高临界尺寸测量的准确度
准确度：0.5% (1 std. dev.)

1. 校准样品

特征和好处：

全息制作 - 保证高精确性和精密度
图像高度>100nm - 提供优异的图像对比效果
对所有碎片的统一覆盖 - 节省时间 (可扫描任何地方)

产品规格：

名义上的校准尺寸：300或700nm。
校准证：提供给每一份样品，规定尺寸无限接近1nm。
图像类型： 1维（1-D)或2维(2-D)。校准尺寸和2维标准的两个轴相同。
特征图形：平行脊 (1-D, 300或700nm), 圆柱形柱 (2-D 300nm), 或菱形柱 (2-D 700nm)
物理尺寸： 3mm x 4mm x 0.5mm
基底：硅片
顶面：钨膜

1-D标准件可用任何一种AFM模式进行扫描，包括接触模式。2-D标准件可用TappingMode™,断续接触和非接触模式进行扫描。

2. Calibrator Pro™ 数据分析软件：

特征和好处：

统计报告
为质量控制记录放大和失真情况。

斜线表和曲线图
显示单个值的趋势，帮助调整你的SPM,减少失真情况。

纯文本输出文件
可导入至第三方的电子制表软件或测绘软件。

自动特征找寻
快速 (不需要清点单个特征)

高精确度的分析过程（即将获专利)
用一种标准得到大或小扫描的精确尺寸。

图画界面，在线帮助，免费的技术支持
易学易用

产品规格：

SPM 兼容性：
数字化工具NanoScope^® SPM's (即将供应支持其他品牌的软件，请询问我们，并告诉我们你的SPM制造商和型号)

供应 3.5", HD软盘和印刷的用户手册。

硬件需求：
IBM或PC兼容平台，带VGA显示屏或者更好的显示屏，操作系统 - DOS, Windows 3.1, Windows 95, 或Windows 98。

来试用一下！

我们100%确定，一旦你发现这软件是多么好用，你就永远不会想离开它！

SPM Calibrator Pro版本 2.3现在正在开发中。它结合了一些用户的建议，有一个简便的用户界面，并且可以浏览目录，选择你自己的文件。很抱歉，目前的演示版本中还没有这些特性，但我们希望你在评价这个演示版本软件时，能想到这些特性。

订购须知：

SPM校正仪系统包括Calibrator Pro分析软件加上面四张高精密度校准样品图中的一张 (5µm图像)：

含	SPI #	单价

300-1D: 300nm, 1-维	09315-AB	$1026.62
700-1D: 700nm, 1-维	09317-AB	977.22

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